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程控高精度勻膠機

簡要描述:程控高精度勻膠機,SC100-SE型勻膠機是一種超高轉速精度,并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。

  • 產品型號:SC100-SE
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-01-04
  • 訪  問  量:1986

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詳細介紹

產品介紹:



 稱:程控高精度勻膠機

 號:SC100-SE

 用:程控高精度勻膠機,是一種超高轉速精度,并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。



產品概述:



  SC100-SE程控勻膠機是一種超高轉速、高精度的旋轉勻膠設備,并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。
  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業級別200瓦伺服電機系統,采用與track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產品中大達到50000RPM/S的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。



性能參數:



l  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)

l  旋涂程序:可擴展編輯和存貯到無限程序步驟

l  轉動速度:0-10,000rpm

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

l  轉速精度達到±0.1rpm,超高轉速穩定性;

l  工藝時間設定: 0-3,000 sec/step

l  時間設置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8"圓晶)

l  旋涂作業均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)



產品特點:



l  內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

l  采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。

l  透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

l  數顯真空壓力傳感器,真空值數字顯示,壓力開關值可設置;

l  數顯水平度傳感器,實時顯示載物盤面的水平度,可通過底腳進行調節;

l  自帶四個自動點膠端口,更多端口控制可升級。




產品外型尺寸:
      433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構





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